1 范围
金彩汇 GB/T 25915本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组、类）的 浓度，对空气化学污染（ACC）进行分级。同时，本部分在分级技术要求中，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。
本部分目前只考虑洁净室运行工况下空气中100 g/m3~10-12 g/m3的化学污染物浓度。
本部分不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、 工艺和生产。
金彩汇 本部分无意探讨空气化学污染物的特性。
本部分不包含对表面化学污染的分级。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
3 术语和定义
金彩汇 GB/T 25915.6-2010/IS014644-6:2007, IDT《洁净室及相关受控环境——第6部分：词 汇》中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1 一般术语
3.1.1
化学污染 chemical contamination
危害产品、工艺、设备的非颗粒物质。
3.1.2
按化学物浓度划分空气洁净度 ACC air cleanliness by chemical concentration
金彩汇 以ISO-ACC表示的、按化学物浓度划分空气洁净度的结果，代表了给定的某种或某组 化学物种类、以克每立方米为单位的最大允许浓度。
注1：生物大分子归为粒子，不包含在本定义中。
3.1.3
空气化学污染 air chemical contamination
存在于空气中、其化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。
3.1.4
金彩汇 按化学物浓度划分表面洁净度 SCC- surface cleanliness by chemical concentration 以化学物浓度所表示的表面洁净度状况。
3.1.5
表面化学物浓度 surface chemical concentration
存在于表面上、因所具有的化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。
3.1.6
金彩汇 污染物类别 contaminant category
沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。
3.1.7
释放气体 out-assinq
金彩汇 从材料中释放出气态或蒸汽态分子物质。
3.1.8
金彩汇 按化学物浓度等级划分空气洁净度（ACC） air cleanliness by chemical concentration（ACC） class
表示某给定的化学物种类或某组化学物种类的最大允许浓度的、以克每立方米为单位的分级数字。
注1：最大允许浓度规定见表1,或按4.2节中的等式标定N。
金彩汇 注2：按GB/T 25915/ISO 14644本部分的分级仅限于0（洁净度最差）至-12（洁净度最佳）级。
注3： ACC等级数字只有与规定了相应的化学物种类或成组化学物类别的ACC描述符一起使用时才有效。
金彩汇 注4：空气化学物洁净度级别负号（-1至-12）是ACC等级数字N的组成部分，并必须注明。空气化学物洁净度必须有负号（0级除外）。
金彩汇 注5： ISO分级可以是小数点后保留1位数字的非整数数字。
3.2 污染物类别
3.2.1
酸 acid
化学反应特性为接受电子对并建立新化学键的物质。
3.2.2
碱 base
金彩汇 化学反应特性为给出电子对并建立新化学键的物质。
3.2.3
生物毒素 biotoxic
危害生物、微生物、生物组织或细胞个体生长与存活的物质。
3.2.4
金彩汇 可凝聚物 condensable
可在洁净室运行状态下因凝结而沉积在表面上的物质。
3.2.5
金彩汇 腐蚀剂 corrosive
使表面产生破坏性化学变化的物质。
3.2.6
金彩汇 掺杂物 dopant
经产品本体吸 收或（和）经扩散后与本体合为一体，即使为微量亦可改变材料特性的物质。
3.2.7
有机物 organic
以碳为基本元素，含氢，含或不含氧、氮等其他元素的物质。
3.2.8
氧化剂 oxidant
沉积在关注表面或产品上后，形成氧化物（O2/O3）或参与氧化还原反应的物质。
4 分级
4.1 概述
金彩汇 应按4.2给出的分级描述符表示分级。描述符的形式为“ISO-ACC”，它明确了空气中某类污染物、某种污染物、或某组污染物的最大允许浓度。
金彩汇4.2 ISO-ACC描述符格式
ACC等级数字只有与该等级所适用的、由ISO-ACC描述符所说明的某类污染物、某种污染物、或某组物质一起使用时方为有效。
ISO-ACC描述符的格式为：
ISO-ACCN（X）级
其中：
金彩汇 x——是某化学物质或一组化学物质，至少包括：
金彩汇 酸（ac）；
碱（ba）；
生物毒素（bt）；
金彩汇 可凝结物（cd）；
腐蚀物（cr）；
掺杂物（dp）；
金彩汇 有机物总量（or）；
氧化剂（ox）；
金彩汇 或一组物质，或某种物质。
N—ISO-ACC等级，它是浓度Cx的常用对数值,其范围为0 ~ T2, Cx的单位为g/m3。
金彩汇 N可以是小数点后保留一位数的非整数等级；
N= log10[Cx];
例1：样本为n-甲基毗咯烷酮（NMP）,空气污染物所测值为8E-7g/m3, n=-6,097,处 于-6级的E-6/m3的等级限值之内。
表述为：ISO-ACC-6 级[NMP]
例2：样本为有机化合物,总有机化合物（TOC）的实测值为6E-5g/m3,处于-4级lE-4g/m3
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